EM-WoSEuropean Journal of Operational Research2021-10-13第 301 卷第 1 期，141-152

Job scheduling of diffusion furnaces in semiconductor fabrication facilities

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ISSN: 0377-2217

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WU K, HUANG E, WANG M, et al. Job scheduling of diffusion furnaces in semiconductor fabrication facilities[J]. European Journal of Operational Research, 2021, 301(1): 141-152. DOI:10.1016/j.ejor.2021.09.044.

著录项

学科: 管理学管理科学与工程工业与制造工程
类型: 研究论文
期刊: European Journal of Operational Research
基金资助: Ministry of Science and Technology, Taiwan
卷期页: 第 301 卷第 1 期，141-152
出版: 2021-10-13
语言: 英语
DOI: 10.1016/j.ejor.2021.09.044

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